潔凈室空氣潔凈度測試及方法

關于潔凈室空氣潔凈度測試，主要從以下四個方面進行說明：

一、空態、靜態測試

空態測試：潔凈室已竣工，凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態，室內沒有工藝設備和生產人員的情況下邊行測試。

靜態測試：潔凈室凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態，工藝設備已安裝，室內沒有生產人員的情況下進行測試。

二、動態測試 

潔凈室已處于正常生產狀態下進行測試。

潔凈室的風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測，可按一般通用、空氣調節的有關規定執行。

三、空態、靜態測試

（一）測試前的準備

　　1、應對潔凈室及其凈化空氣調節系統進行仔細清潔。

　　2、采用光散射粒子計數器對高效空氣過濾器進行檢漏測試。首先測定高效空氣過濾器的上風側靜壓箱內（或風管內）粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數應為大于或等于30，000粒/升。如若不夠，可引入煙霧，然后開始檢漏。將粒子計數器（或檢漏裝置）的采樣口距離高效空氣過濾器2--3厘米處，可以2～4厘米/秒的速度移動，對高效空氣過濾器整個斷面封頭膠處和安裝框架處進行掃描。

　　當粒子計數器讀數為空氣口大于或等于0.5微米的塵粒超過3粒/分·升（或其穿透率大于0.01‰）即認為該處有明顯滲漏，必須進行堵漏。

（二）測試內容

     1、總送風量、總回風量、新鮮空氣量、排風量等;

     2、潔凈室壓力值;

    3、層流潔凈室斷面風速和氣流流向;

    4、潔凈工作區的潔凈度;

    5、室內溫度、濕度及其控制能力的調整測試;

    6、潔凈室內噪聲。

（三）潔凈工作區空氣潔凈度的測試方法 

對于粒徑大于或等于0.5微米的塵粒計數，宜采用光散射粒子計數法。對于粒徑大于或等于5微米的塵粒計數。也可采用濾膜顯微鏡計數法。

光散射粒子計數法：

1、光散射粒子計數器采樣量 100級：每次采樣量大于或等于1升。 l，000級-l0，000級：每次采樣量大于或等于0.3升。 100，000級：每次采樣量大于或等于0.1升。 對于100級潔凈室，宜采用大流量粒子計數器進行測試; 如果條件不具備時，可采用每次采樣量不小于1升的粒子計數器。

2、采樣注意事項：

（1）采樣管必須干凈，連接處嚴禁滲漏。

（2）采樣管的長度，應根據儀器的允許長度。當無規定時，不宜大于1.5米。

（3）采樣管口的流速，宜與潔凈室斷面平均風速相接近。測試人員應在采樣口的下風側。

（4）采樣順序應按含塵濃度從低到高進行。

3、測點布置

（1）檢測在潔凈工作區內進行。當生產工藝無特殊要求時，取樣高度宜為離地面1米。

（2）層流潔凈室測點總數不小于20點，測點間距為0.5～2.0米，粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數允許有一個點超過。水平層流潔凈室測點僅布置在第一潔凈工作區內。

（3）亂流潔凈室可按潔凈面積小于或等于50平方米布置5個測點。 每增加20-50平方米，增加3--5個測點。

4、數據整理

（1）每個測點的數據整理應在測試儀器穩定運行的條件下連續三次采樣，取其平均值，即為該點的實測數值。

（2）對于大于或等于0.5微米的塵粒數確定：層流潔凈室取各測定點最大值，亂流潔凈室取各測點的平均值。

（3）正壓值測定應采用精度可達0.01毫米水柱的微壓計。

四、動態測試

在潔凈工作區操作位置選擇有代表性測點的氣流上風向進行，測試方法同空態、靜態測試。